中間鏡(intemediate lens)和投影鏡(projection lens)
在物鏡下方,依次設有中間鏡和投影鏡、第2投影鏡,以共同完成對物鏡成像的進一步放大任務。從結構上看,它們都是相類似的電磁透鏡,但由于各自的位置和作用不盡相同,故其工作參數(shù)、勵磁電流和焦距的長短也不相同。電鏡總放大率:M=MO·MI·MP1·MP2即為物鏡、中間鏡和投影鏡的各自放大率之積。當電鏡放大率在使用中需要變換時,就必須使它們的焦距長短相應做出變化,通常是改變靠中間鏡和投影鏡線圈的勵磁工作電流來達到的。電鏡操縱面板上放大率變換鈕即為控制中間鏡和投影鏡的電流之用。
對中間鏡和投影鏡這類放大成像透鏡的主要要求是:在盡可能縮短鏡筒高度的條件下,得到滿足高分辨率所需的高放大率,以及為尋找合適視野所需的低放大率;可以進行電子衍射像分析,做選區(qū)衍射和小角度衍射等特殊觀察;同樣也希望它們的像差、畸變和軸上像散都盡可能地小。
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